Zum Inhalt springen

Rasterelektronenmikroskopie

REM:   „AURIGA TM“ - Crossbeam-Basis-System, Zeiss

Hochauflösendes Rasterelektronenmikroskop  mit Schottky-Feldemissionskathod

Die hochauflösende Rasterelektronenmikroskopie ist für vielfältige Anwendungen im Bereich der Werkstoffcharakterisierung geeignet und wird aufgrund der hohen Tiefenschärfe bevorzugt zur Abbildung uneben strukturierter Oberflächen eingesetzt. Zusätzlich dient sie der Charakterisierung von Mikro- und Nanostrukturen für die Materialforschung und der Werkstoffentwicklung sowie zur Qualitätssicherung und Schadensanalytik.

Anwendungsbeispiele

  • morphologische Untersuchung von Querschnitten zur Aufklärung von Schichtstrukturen
  • Phasenverteilung in Kunststoff-Blends
  • Untersuchung zur Oberflächentopographie
  • Bruchflächen in Kunststoff-Bauteilen
  • Medienangriffe und deren Werkstoffverschleißerscheinungen
  • Defekte Oberflächenbeschichtung, Rauhigkeiten
  • Crazes, Risse, Faser-Matrix-Haftung, Faserverteilung
  • Pigment- und Füllstoffverteilung
  • Analyse von Werkstoffinhomogenitäten (Lunker, Einschlüsse)
  • Strukturvermessung
  • Erkennen und Vermessen Verunreinigungen
  • Untersuchungen mittels Materialkontrast
  • Sphärolithstrukturen und Verarbeitungseinfluss
  • EDX-Röntgenmikrobereichsanalyse zur Materialidentifizierung

Probeneigenschaften

  • Probendicke: max. 30 mm,
  • Probendurchmesser: max. 50 mm,
  • Probenbeschaffenheit:  eben oder strukturiert,
    trocken keine Ausgasungen, vakuumfest

Spezifikation des Rasterelektronenmikroskops

  • Computergesteuertes FE-REM für Analytik und Abbildungen im Hochvakuum-Betrieb
  • Spezifizierte Ortsauflösung (SE): 1,9 nm bei 1kV und 1,0 nm bei 20 kV im Hochvakuum bei optimalem Arbeitsabstand
  • Beschleunigungsspannung 0,1-30 kV
  • thermischer Schottky-Emitter
  • in-lens- Sekundärelektronen-Detektor (InLens), hochauflösende SE-Abbildungen auch bei  niedriger Beschleunigungsspannung
  • Kammer-SE-Detektor (SE)
  • Energieselektiver Rückstreuelektronendetektor (EsB)
  • automatische IGP-Turbomolekularpumpsystem
  • 6-achsen-motorisierte, euzentrische Probenbühne, (Verfahrweg 100 x 100 mm in xy-Richtung)
  • digitaler Bildspeicher mit max. 3072x2304 Bildpunkten
  • GIS-Charge-Compensator (Gaseinlass zur Verminderung der elektrischen Aufladung)
  • Bruker Quantax 400 EDX-System, inklusive 129 eV-Detektor für die qualitative und quantitative Elementanalytik im Bereich von ca. 1 µm