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Spincoating

Zur homogenen Beschichtung unter Reinraumatmosphäre steht ein flexibel programmierbarer Spin-Coater zur Verfügung:

  • Spin Coater: Cee 300 X (Brewer Science)
  • Geschwindigkeit, Beschleunigung, Spindauer variabel
  • Substrat: starr oder flexibel
  • Substratgröße: 9 bis 450 mm
  • Drehzahl: max. 8000 rpm
  • Schichtdicken zwischen 5 nm und 1 µm realisierbar