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Geräteausstattung
Laser
1. Eximerlaser
Eximerlaser Compex 2005
- Elektrodenerzeugung durch abbildende Maskentechnik und UV-Ablation
- Leiterbahn- und Elektrodenerzeugung im Direktschreibverfahren
- bisher erreichte minimale Strukturbreite
1,0 µm
- optimiert für Wellenlänge 248 nm

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Excimerlaser KrF
Ausgangsenergie: 600 mJ bei 248 nm
Impulsdauer: 22 ns
Maximalfrequenz 50 Hz
Excimerlaser XeCl
Ausgangsenergie: 500 mJ bei 308 nm
Impulsdauer: 22 ns
Maximalfrequenz 50 Hz
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2. Ar-Ionenlaser
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1000 mW bei 488 nm |
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800 mW bei 514 nm |
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100 mW bei 454 nm |
3. Nd: YAG-Laser
Ausgangsenergie: 1000 mJ bei 1054 nm
Impulsdauer: 8 ns
Maximalfrequenz 10 Hz
4. Farbstofflaser
nur anregbar mit Excimerlaser XeCl
Ausgangsenergie und Wellenlänge sind abhängig vom verwendeten Farbstoff
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