1. Eximerlaser

Eximerlaser Compex 2005

• Elektrodenerzeugung durch abbildende Maskentechnik und UV-Ablation
• Leiterbahn- und Elektrodenerzeugung im Direktschreibverfahren
• bisher erreichte minimale Strukturbreite 1,0 µm
• optimiert für Wellenlänge 248 nm

Excimerlaser KrF Ausgangsenergie: 600 mJ bei 248 nm Impulsdauer: 22 ns Maximalfrequenz 50 Hz Excimerlaser XeCl Ausgangsenergie: 500 mJ bei 308 nm Impulsdauer: 22 ns Maximalfrequenz 50 Hz

2. Ar-Ionenlaser

3. Nd: YAG-Laser

Ausgangsenergie: 1000 mJ bei 1054 nm
Impulsdauer: 8 ns
Maximalfrequenz 10 Hz

4. Farbstofflaser

nur anregbar mit Excimerlaser XeCl
Ausgangsenergie und Wellenlänge sind abhängig vom verwendeten Farbstoff

Weiterführende Links
Polymerelektronik

Für Forschung und Entwicklung:
Herr Dr. Klaus Heinemann
Leiter der Abteilung Funktionspolymersysteme und Physikalische Forschung
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Thüringisches Institut
für Textil- und
Kunststoff-Forschung e.V.
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