Geräteausstattung Beschichtung

Anlage zur Oberflächenaktivierung (Plasmabehandlung)

Probengröße: 45 x 25 cm
Zuführung von Prozessgas möglich

Spin Coater

Geschwindigkeit, Beschleunigung, Bearbeitungszeit variabel einstell- und programmierbar, auch Hand-Betrieb möglich
Substratgröße: max. ca. 100 x 100 mm
Drehzahl: max. 8000 rpm

Doctor Blade (automatisches Filmaufziehgerät)

variable Spaltbreite (4, 6, 8, 10 µm bis 1 mm)
Laufweglänge: 15 - 45 cm
Spiralrakel: max. 150 mm breit
Kastenrakel: max: 170 mm breit
Geschwindigkeit: 5 mm/s - 100 mm/s

Kleintechnische Rolle-zu-Rolle-Beschichtungsanlage für Nanoschichten
- Slot Die Coating Machine for Low Viscosity Fluids -

für:

• Flächenhafte Nassbeschichtung
  
• Schmalbandbeschichtung mit Fokus auf "Dünne Schichten" (Trockenschichtdicke < 1µm)
• Wässrige u. lösemittelhaltige Systeme;
• Beschichtung von Polymeren (Lösung, Dispersionen, niedrigviskos)

mit:

• erweiterungsfähiger modularer Aufbau
  
• Minipumpstation für geringe Ansatzmengen

Sputter Coater (mit Schichtdickenmessgerät)

Sputtern von Gold, Palladium, Platin, Nickel, Silber und Kohle möglich Sputterkammerdurchmesser: 150 mm
Sputterkammerhöhe: 135 mm