Energiedispersive Röntgenmikrobereichsanalyse (EDX)  Messart

Punktanalyse     punktgenaue Analyse im µm-Bereich
Line-Scan Elementverteilung längs einer Linie
Mapping →  Erstellen von Elementverteilungsbildern (Fläche)
durch Lokalisierung der Impulse ausgewählter Elemente