Energiedispersive Röntgenmikrobereichsanalyse (EDX)

EDX-Analysengerät Quantax-400, Bruker AXS

Für die Materialidentifizierung mikroskopischer Proben wird im REM die energiedispersive Röntgenmikrobereichsanalytik (EDX) zum Nachweis von Elementen bzw. deren Verteilung genutzt. Die Methode erlaubt die Charakterisierung und Zuordnung  von Werkstoffen und Strukturen und wird für FuE-Arbeiten, Qualitätssicherung sowie Schadens­analytik und Umweltanalytik in Mikrobereichen eingesetzt.

SE-Bild mit Messfläche für Mapping

EDX-Spektrum

Mapping

Linescan