Rasterelektronenmikroskopie - Spezifikation

  • Computergesteuertes FE-REM für Analytik und Abbildungen im Hochvakuum-Betrieb
  • Spezifizierte Ortsauflösung (SE): 1,9 nm bei 1kV und 1,0 nm bei 20 kV im Hochvakuum bei optimalem Arbeitsabstand
  • Beschleunigungsspannung 0,1-30 kV
  • thermischer Schottky-Emitter
  • in-lens- Sekundärelektronen-Detektor (InLens), hochauflösende SE-Abbildungen auch bei  niedriger Beschleunigungsspannung
  • Kammer-SE-Detektor (SE)
  • Energieselektiver Rückstreuelektronendetektor (EsB)
  • automatische IGP-Turbomolekularpumpsystem
  • 6-achsen-motorisierte, euzentrische Probenbühne, (Verfahrweg 100 x 100 mm in xy-Richtung)
  • digitaler Bildspeicher mit max. 3072x2304 Bildpunkten
  • GIS-Charge-Compensator (Gaseinlass zur Verminderung der elektrischen Aufladung)
  • Bruker Quantax 400 EDX-System, inklusive 129 eV-Detektor für die qualitative und quantitative Elementanalytik im Bereich von ca. 1 µm