"Rolle-zu-Rolle"-Mikrostrukturierung mittels Lasertechnologie auf flexiblen Substraten

Die UV-Laserablation ist ein leistungsfähiges photonisches Verfahren zur Strukturierung von Oberflächen und dünnen Schichten. Dabei wird mit einem intensiven kurzen Excimerlaser-Puls (λ= 248 nm) lokal Material abgetragen, wobei angrenzende Bereiche nicht oder nur gering thermisch belastet werden. Das Verfahren erlaubt Strukturauflösungen im Bereich von wenigen Mikrometern. Kombiniert mit einer Rolle-Zu-Rolle Transporteinrichtung können flexible Foliensubstrate kontinuierlich strukturiert werden. Bereits realisierte Anwendungsbeispiele betreffen die Herstellung von Source-Drain-Elektroden aus verschiedenen leitfähigen Materialien (Gold, Aluminium, Kupfer, leitfähige Polymere) für Polymertransistoren und die Durchführung von Isolationsschnitten in polymeren Solarmodulen.

Rolle-Zu-Rolle Laserstrukturierung eines
leitfähigen Polymers
Laserstrukturierte Kamm-Elektroden
(Gold auf Polyimid)

 

       
Laserschnitte in einem Polymer-Solarmodul und 3D-Mikroskopaufnahme (rechts)