Konfokale Mikroskopie (Oberflächenprofile und Rauheiten)

Charakterisierung von Mikrostrukturen durch das Messen von Form, Welligkeit und Rauheit nach DIN EN ISO 4287 an strukturierten Oberflächen (z.B. organische Schichtaufbauten in der Polymerelektronik, Bauteile auch mit hohen Aspektverhältnissen und steilen Flanken, fein strukturierte Oberflächen, gehonte Laufflächen):

  • Konfokales 3D-Weißlicht-Mikroskop „µ-surf” (NanoFocus)
    • Auflösung in Z-Ebene max. 10 nm
    • Bildfeld ab 150 x 160 µm
    • Arbeitsabstand 10 cm
    • 2D- und 3D-Darstellung
    • Darstellung von Linien- und Flächen-Rauheiten im µm-Bereich

 

Gelaserte Transistorstruktur in 3D-Darstellung mit Rauheitsprofil (konfokales Mikroskop)